Izvor: Piplmetar.rs, 18.Mar.2024, 03:30
Najnovija ASML mašina utire put novoj eri proizvodnje čipova: omogućava 2 nm i naprednije procese
Mašina kompanije ASML nazvana Twinscan NXE:3800E predstavlja značajan napredak u EUV litografiji u pogledu performansi i preciznosti. Sa sočivom za projekciju i numeričkim otvorom od 0,33, ova mašina obećava impresivnu produktivnost i tačnost u naprednoj proizvodnji čipova u poređenju sa svojim prethodnikom. Dizajnirana je za proizvodnju čipova po vodećim tehnologijama uključujući 3 i 2 nm, ali i još naprednije procese izrade koji će stizati u narednih nekoliko godina.
Povećani propusni opseg omogućava mašini da obradi preko 195 vafera na sat, sa mogućnošću daljeg povećanja na 220 vafera uz nadogradnju protoka. Uz to, novi alat nudi mašinsko preklapanje manje od 1,1 nm, odnosno preciznost poravnanja vafera, piše...